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氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動(dòng)隔振平臺(tái)ZVI-FV系列
特點(diǎn)
空氣彈簧支撐，磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)
機(jī)械式倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)正剛度機(jī)構(gòu)
6自由度主動(dòng)隔振
主動(dòng)隔振帶寬低至0.5Hz起
標(biāo)品負(fù)載最大支持4600-6200KG
水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)160N
總體規(guī)格（長(zhǎng)、寬、高）多種規(guī)格可選
核心控制系統(tǒng)全部自研
核心部件國(guó)產(chǎn)化
技術(shù)指標(biāo)
主動(dòng)隔振帶寬：0.5-150Hz
臺(tái)面穩(wěn)定性：≤±5um
傳遞率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-45dB@10Hz
水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)160N
系統(tǒng)支持最大功率700W
臺(tái)面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK：0.1mm/600mm×600mm
大理石臺(tái)面：0級(jí)、1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)可選（GB/T20428-2006）
臺(tái)面厚度：100/200/300mm
孔徑：可定制孔徑
孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
標(biāo)品單腿最大承載能力：1600Kg
氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動(dòng)隔振平臺(tái)ZVI-FV系列命名規(guī)則
選型表：（-K、-O參考具體臺(tái)面信息）
產(chǎn)品型號(hào) | 整體規(guī)格 （L*W：mm） | 臺(tái)面上負(fù)載要求（kg） | 臺(tái)面厚度（mm） | 隔振器規(guī)格 (L*W*H:mm) | 單腿重量 |
ZVI-FV-30-12M | 3000×1200 | 100-1000 | 350 | 374×220×200 | 35kg |
ZVI-FV-30-12M-Z（重載） | 3000×1200 | 100-2000 | 400 | 360×250×200 | 35Kg |
尺寸圖：
型號(hào) | 尺寸（ mm） | ||||
L | W | T | H1 | H2 | |
ZVI-FV-30-12M | 3000 | 1200 | 350 | 900 | 550 |
ZVI-FV-30-12M-Z （重載） | 3000 | 1200 | 400 | 900 | 500 |
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